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2015年創業、愛知県に本社を置く株式会社Photo electron Soulは、アカデミアで長年培われた高度な知見を基に、電子ビーム技術の革新を目指すスタートアップ企業です。同社の核となるのは、世界で唯一の商用化を実現したとされる「半導体フォトカソード技術」にあるそうです。
現在の産業用電子源は約50年前に登場した技術が主流とされていますが、同社はこの「源（ソース）」を刷新することで変革を引き起こそうとしているようです。独自の光電子ビームは、海外トップ企業の従来製品（ショットキー電子源）と比較して10倍以上の輝度を実現しているとのことです。この圧倒的な特性により、微細化と多層化が加速する最先端半導体デバイスの検査において、細いビームのまま桁違いの大電流を照射し、検査速度を劇的に向上させることが期待されています。
現在は半導体ウェハ検査装置を主なターゲットとしていますが、その先にはライフサイエンスやマテリアル分野への展開も見据えているとのことです。既存の技術的な壁を一つずつ丁寧に取り除き、電子の力で社会に新たな価値を提供しようとする誠実な姿勢は、産業界全体に健やかな進化をもたらすものと感じられます。未知の領域を切り拓き、世界の未来を明るく照らすような同社の挑戦に大きな期待がかかります。（AS）
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Semiconductor Photocathode e-beam technology: Advanced Applications in Inspection and Metrology.
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